藍寶石襯底的圖形化技術

文章來源:恒光電器

發布時間:2015-01-05

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目前LED行業大部分使用藍寶石作為外延生長的襯底材料，工程照明，隨著業界對LED亮度提高的需求越來越明顯，行業資訊，各種提高出光的方法得到了實施， led亮化工程，圖形化襯底就是其中的一種。

PSS技術是側向外延（ELOG）技術的一項衍生技術。ELOG技術是通過增加橫向生長速度使得位錯彎曲不再延伸到生長表面，從而降低位錯密度的一項技術。由于ELOG技術需要SiO2或者SiNx等作為掩模，生長過程需要中斷且生長周期較長，而且生長掩膜還會帶來生長表面的沾污等等。2000年，國際資訊，美國Ashby等人在帶有條形結構的藍寶石襯底生采用了單步生長GaN的方法，他們在襯底的溝槽區域發現了GaN的懸掛臂外延，這就是PSS技術的雛形。2001年日本Tadatomo等人提出了使用干法刻蝕制備具有周期性條紋的PSS，酒店led照明，照明方案，商業照明，有效地提高了外量子效率。

PSS的圖形制備流程如下圖：

目前國內有很多企業都在采用PSS技術了，例如三安、德豪、華磊、華燦等。各家的PSS圖形都不相同，商業照明，每個企業通過自己的工藝控制來調整圖形結構。但大體的圖形結構種類有以下幾種：

 

 未來發展技術之一：多重PSS

 

以上圖片也是PSS發展的歷程，醫院led照明，恒光，細觀這么多種圖形各有千秋。PSS技術的發展有會在各家企業的努力中成長。北京大學張國義教授總結PSS技術發展趨勢為：

圖形襯底由2英寸發展到4英寸，裝修照明，面積越來越大。

圖形結構由簡單向復雜化優化

圖形尺寸由微米級向納米級發展，醫院led照明，商業照明燈具，等

PSS技術是我們LED行業眾多技術的一種，產業資訊，目前也有很多藍寶石基板企業直接提供已經PSS好的襯底了，未來的圖形是否能形成標準化?上游企業幫下游完成部分工序，這是產業整合的現象啊。

 

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